
尊敬的行業(yè)同仁:
CITE&ICSZ China 2025深圳國(guó)際半導(dǎo)體展即將啟幕,新萊集團(tuán)誠(chéng)邀您蒞臨[9館-9C120],共同探索半導(dǎo)體超高純流體系統(tǒng)與真空核心技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化突破。
作為中國(guó)高純材料與關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域的先行*,新萊集團(tuán)深耕半導(dǎo)體行業(yè)十余年,構(gòu)建覆蓋材料精制→核心組件→系統(tǒng)集成的全鏈條能力:
◆ 超高純氣體系統(tǒng):6N級(jí)不銹鋼/合金管路(UHP & HP),覆蓋刻蝕、薄膜沉積、離子注入等關(guān)鍵制程;
◆ 精密流體控制:全系列超純閥門(mén)(隔膜閥、波紋管閥),耐受強(qiáng)腐蝕性氣體(Cl?、NH?、O?);
◆ 真空系統(tǒng)組件:UHV/HV腔體、法蘭、密封件,滿足先進(jìn)制程對(duì)真空度與穩(wěn)定性的需求;
我們期待與您面對(duì)面探討良率提升與成本優(yōu)化的現(xiàn)實(shí)挑戰(zhàn),,見(jiàn)證中國(guó)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的硬核技術(shù)創(chuàng)新,共謀產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展的未來(lái)路徑。
新萊集團(tuán)—— 以潔凈,守護(hù)每一片晶圓的誕生!
CITE&ICSZ China 2025深圳國(guó)際半導(dǎo)體展
時(shí)間:2025年4月9-11日
展館:深圳會(huì)展中心(福田)
展位:9館-9C120
9C120

亮點(diǎn)請(qǐng)先看—

—Nano Pure 氣體產(chǎn)品—

波紋管閥

調(diào)壓閥

VCR & Micro Fitting
AdvanTorr-真空

—真空產(chǎn)品—

真空傳輸閥

真空角閥

定制真空腔體

在半導(dǎo)體制程中,電子化學(xué)品隔膜閥是控制高純流體(特氣、化學(xué)品、超純水)的核心組件,其作用可概括為“精準(zhǔn)控制、無(wú)污染、高耐蝕:
◇ 防顆粒污染:隔膜采用PTFE或全氟醚橡膠材質(zhì),表面光潔度Ra≤0.4μm(符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)),避免閥體摩擦產(chǎn)生顆粒污染流體;
◇ 零死體積設(shè)計(jì):流道內(nèi)基本沒(méi)有死角,防止化學(xué)殘留或結(jié)晶,尤其適用于光刻膠輸送、CMP研磨液等敏感介質(zhì)。
